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真空泵的類型
真空泵分為干式和濕式兩大類。于式真空泵只能從容器中抽出干燥氣體，它產(chǎn)生的真空度可達96％一99．9％。濕式真空泵在抽吸氣體時允許帶有較多的液體，它產(chǎn)生的真空度為85％一90％。真空泵的形式很多，其分類如下。
(1)核實現(xiàn)真空的工作原理分類
①抽除式，真空泵抽吸系統(tǒng)中的氣體，并將氣體分子排至系統(tǒng)之外。
②捕集式。真空泵捕集系統(tǒng)中的氣體分子，直接吸附在泵工作壁面上而不排出系統(tǒng)。
(2)按真空泵結(jié)構(gòu)分類
①機械式。這類真空泵類似于壓縮機，屬于容積型的有往復(fù)式與回轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)，還有屬于動力式的渦輪分子泵，它們都屬于抽除式真空泵。
②噴射泵。有噴射泵與擴散泵兩種形式，還有將二者組合在一起的增壓泵，也都屬于抽除式真空泵。
③吸著式。依靠物理或化學(xué)方法使氣體分子吸著在泵壁表面，屬于捕集式真空泵。
(3)按真空泵在系統(tǒng)中的工作職能分類
①主抽氣泵。實現(xiàn)所要求壓力的主要工作泵。
②預(yù)抽氣泵。當(dāng)主抽氣泵不能在大氣狀態(tài)直接開始抽吸時，需要預(yù)抽泵先抽至某一壓力，主抽氣泵方能進入工作。
③前級泵。當(dāng)主抽氣泵不能將所抽氣體直接排入大氣時，需串接前級泵排送。
④維持泵。當(dāng)主抽氣泵完成所要求的壓力停止工作后，由于系統(tǒng)泄漏或表面蒸發(fā)等原因，壓力可能升高，因此用維持泵繼續(xù)抽吸。
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